原子層沉積系統臭氧發生器要求
原子層沉積系統用臭氧發生器要求如下：
臭氧發生器產量10 g/h，濃度不低于80 g/m，臭氧流量可控(0~200 sccm)
以下臭氧發生器可滿足要求：
1、3S-T10 ,臭氧產量10g/h，臭氧濃度120mg/L，氧氣進氣范圍0.05-4L/min
2、NANO15，臭氧產量15g/h，臭氧濃度150mg/L，氧氣進氣范圍0.05-2L/min
3、3S-M5，臭氧產量10g/h，臭氧濃度110mg/L，氧氣進氣范圍0.05-2L/min
4、EXT-M10，臭氧產量5-10g/h，臭氧濃度120mg/L，氧氣進氣范圍0.05-2L/min
5、Atlas H30 ，臭氧產量3g/h，臭氧濃度200mg/L，氧氣進氣范圍0.05-2L/min
可根據臭氧濃度需求，體積大小，價位來選擇合適的臭氧發生器。
